يمثل نصف القطر الذري المسافة بين نواة الذرة إلى مدار الإلكترون الخارجى الثابت والموجود في حالة إتزان . ويتم قياسها عن بوحدة بيكو متر أو أنجستروم .
كما يتم إطلاق نصف القطر التساهمي على نصف القطر الذري ( عند تكون روابطة تساهمية ) ، و نصف القطر اللافلزي في حالة العناصر اللافلزية ، نصف القطر الفلزي في حالة العناصر الفلزية . وتقنيا فإن نصف القطر الذري هو نصف مسافة الإتزان بين ذرتين متجاورتين ، ( واللتان ترتبطان معا برابطة تساهمية ، أو يتواجدا بقرب بعضهما البعض في شكلل شبكة بللورية لأى عنصر .
ويكون نصف القطر التساهمي نصف المسافة بين نواتي نفس الذرات المترابطة مع بعضها البعض . ويكون نصف القطر التساهمي للعناصر التى لا ترتبط ذراتها مع بعضها البعض يمكن تقديرها بالربط بينها وبين نصف القطر في الجزيئات المختلفة . ويمكن تحديد نصف القطر الفلزى غلى أنه نصف المسافة بين أقرب ذرتين متجاورتين في الشكل البللوري .
ويزيد نصف القطر الذري في الجدول الدوري بإضافة أغفلة إلكترونية ، ويقل من اليمين إلى اليسار بزيادة شحنة النواة ( أو عدد البروتونات ) .